一种基于PDMS的柔性光栅的制作方法及装置

作者： A dam

2025-09-03

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发明专利

申请号：201911257076 .1

专利权人：深圳先进技术研究院

授权日：2021.11.30

本发明公开了一种基于PDMS的柔性光栅的制作方法及设备，该设备包括底座，不锈钢环和不锈钢圈，底座上设有凹槽，不锈钢圈包括第一不锈钢圈和第二不锈钢圈，不锈钢环、第一不锈钢圈和第二不锈钢圈均位于底座的上方、凹槽的外侧并将凹槽均匀包围，第一不锈钢圈与不锈钢环的内侧相邻，第二不锈钢圈与不锈钢环的外侧相邻。制作方法为：将母光栅放入凹槽中，将之间的缝隙覆盖；配置PDMS溶液；旋涂，将PDMS溶液均匀旋涂在整个底座上；将不锈钢环放到相应的位置上；将第一不锈钢圈和第二不锈钢圈放到相应的位置上；将PDMS溶液缓慢倒入第一不锈钢圈和第二不锈钢圈之间的区域；热固化；揭膜。本发明可大幅提高制作的成功率，减小在揭膜过程中可能出现的薄膜破损。

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